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壓力傳感器發(fā)展的主要方向



  壓力傳感器是一種把非電量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的器件,在生產(chǎn)測(cè)量中的應(yīng)有十分廣泛,常見(jiàn)于各種生產(chǎn)自動(dòng)化控制領(lǐng)域,對(duì)提高設(shè)備精度、安全及質(zhì)量具有重要作用。壓力傳感器的發(fā)展主要方向是哪些

傳感器.PNG

  1:光纖壓力傳感器

  這是一類研究成果較多的傳感器,但投入實(shí)際領(lǐng)域的并不是太多。工作原理是利用敏感元件受壓力作用時(shí)的形變與反射光強(qiáng)度相關(guān)的特性,由硅框和金鉻薄膜組成的膜片結(jié)構(gòu)中間夾了一個(gè)硅光纖擋板,有壓力的情況下,光線通過(guò)擋板的過(guò)程中會(huì)發(fā)生強(qiáng)度的改變,通過(guò)檢測(cè)這個(gè)微小的改變量,就能測(cè)得壓力的大小。這種敏感元件已被應(yīng)用與臨床醫(yī)學(xué),用來(lái)測(cè)擴(kuò)張冠狀動(dòng)脈導(dǎo)管氣球內(nèi)的壓力。可預(yù)見(jiàn)這種壓力傳感器在顯微外科方面一定會(huì)有良好的發(fā)展前景。同時(shí),加工與健康保健方面,光纖傳感器也在快速發(fā)展。

  2:電容式真空壓力傳感器

  E+H公司的電容式壓力傳感器是由一塊基片和厚度為0.82.8mm氧化鋁(Al2O3構(gòu)成,其間用一個(gè)自熔焊接圓環(huán)釬焊在一起。該環(huán)具有隔離作用,不需要溫度補(bǔ)償,可以保持長(zhǎng)期測(cè)量的可靠性和持久的精度。測(cè)量方法采用電容原理,基片上一電容CP位于位移最大的膜片的中央,而另一參考電容CR位于膜片的邊緣,由于邊緣很難產(chǎn)生位移,電容值不發(fā)生變化,CP變化則與施加的壓力變化有關(guān),膜片的位移和壓力之間的關(guān)系是線性的遇到過(guò)載時(shí),膜片貼在基片上不會(huì)被破壞,無(wú)負(fù)載時(shí)會(huì)立刻返回原位無(wú)任何滯后,過(guò)載量可以達(dá)到100%,即使是破壞也不會(huì)泄漏任何污染介質(zhì)。因此具有廣泛的應(yīng)用前景。

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