壓力傳感器的工作原理是怎樣的?
壓力傳感器可使用多種不同的技術(shù)來提供精確的結(jié)果?;趹?yīng)變的壓力傳感器使用應(yīng)變片作為壓力敏感元件,通常是將金屬箔式應(yīng)變片或是膜片粘合到圓柱形彈性體上。應(yīng)變原理的壓力傳感器最大優(yōu)點(diǎn)是具有極高剛度,可測量高達(dá)15000bar的極高壓力。電連接通常通過惠斯通電橋完成,具有極高的精確性和一致的測量結(jié)果。
電容式壓力傳感器使用壓力腔和膜片來產(chǎn)生可變電容,當(dāng)施加壓力時隔膜會變形,此時電容也會相應(yīng)的減小。通過測量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號。這些傳感器僅限于大約40bar的低壓。
壓阻式壓力傳感器它是由一個主要硅制成的膜片組成,采用集成的應(yīng)變片來檢測施加的壓力而產(chǎn)生的應(yīng)變,通常采用惠斯通電橋來降低靈敏度并增加輸出。由于所使用的材料壓力限制在1000bar左右。
與上述技術(shù)不同的是,諧振式壓力傳感器使用測量機(jī)構(gòu)的共振頻率的變化來測量由施加的壓力引起的應(yīng)力。根據(jù)這種傳感器的設(shè)計(jì)諧振元件可以暴露于介質(zhì),其中諧振頻率取決于介質(zhì)的密度。通常這些傳感器會對沖擊和振動敏感。
另外不使用測量體的其它壓力傳感器有熱或電離壓力傳感器,其利用由于帶電粒子的流動中的密度變化來測量所施加的壓力。
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