發(fā)布時(shí)間：2022年04月19日 18時(shí)52分50秒

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　　MEMS進(jìn)氣壓力傳感器具有結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，抗震性好、尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快、驅(qū)動(dòng)電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等特點(diǎn)?？蓹z測(cè)包含燃?xì)?、煙霧、氫氣、一氧化碳、氨氣、硫化氫、酒精、口氣、VOC等多種氣體。

　　MEMS進(jìn)氣壓力傳感器是基于MEMS工藝的基微熱板和清潔空氣中低導(dǎo)電的金屬氧化物半導(dǎo)體材料組成。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測(cè)氣體存在時(shí)，傳感器的電導(dǎo)率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。

　　熱電堆溫度傳感器是基于MEMS技術(shù)，其主要是由數(shù)百對(duì)熱電偶串聯(lián)而成。它采用的是塞貝克原理，當(dāng)目標(biāo)與環(huán)境之間存在溫度差時(shí)，這時(shí)傳感器輸出對(duì)應(yīng)的電壓來檢測(cè)出目標(biāo)存在或目標(biāo)的溫度等。

　　熱電堆溫度傳感器具有高紅外響應(yīng)率和高重復(fù)性以及高可靠和穩(wěn)定性等特點(diǎn)。它在額溫/耳溫等非接觸體溫測(cè)量、家用電器(空調(diào)、護(hù)發(fā)吹風(fēng)機(jī)、油煙機(jī)等)溫度測(cè)量與控制以及空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、電力管理系統(tǒng)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

　　微流量傳感器采用新一代MEMS進(jìn)氣壓力傳感器芯片技術(shù)、它是利用熱力學(xué)原理檢測(cè)對(duì)流通道中氣體介質(zhì)的流動(dòng)，具有良好的精度和重復(fù)性?？删_測(cè)量極小流量，精度高，響應(yīng)速度快，重復(fù)性好，經(jīng)過完全校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償，同時(shí)具有線性模擬電壓輸出，方便使用。

　　微流量傳感器在醫(yī)療儀器(呼吸機(jī)、氧氣機(jī)等)、便攜式儀器、工業(yè)過程控制及空氣和環(huán)境保護(hù)等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。塑封壓力傳感器采用的是高精度MEMS進(jìn)氣壓力敏感芯片及成熟的生產(chǎn)工藝封裝而成的傳感器。它具有尺寸小、精度高、寬工作溫度范圍、常溫高精度等特點(diǎn)。

　　MEMS塑封壓力傳感器常被應(yīng)用于手持胎壓計(jì)、電子血壓計(jì)、空壓表、汽車胎壓檢測(cè)、過程控制系統(tǒng)、壓力校準(zhǔn)儀器、高度計(jì)、大氣壓力測(cè)量等領(lǐng)域。MEMS進(jìn)氣壓力傳感器在物聯(lián)網(wǎng)、智能制造、智能物流等方面起著非常重要的作用。近年來，國家傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的政策環(huán)境持續(xù)優(yōu)化，隨著“制造強(qiáng)國戰(zhàn)略”、“互聯(lián)網(wǎng)+”行動(dòng)計(jì)劃的大力推進(jìn)，傳感器技術(shù)及傳感器產(chǎn)業(yè)的重要性將日益凸顯，可以預(yù)見，未來傳感器技術(shù)將是我國科技發(fā)展的重中之重!

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