發(fā)布時間：2022年07月04日 18時12分23秒

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　　本文為大家講解的是關于壓力響應范圍是傳感器性能評估的一項重要指標，下面?zhèn)シ楹阈【帉臉O低壓和高壓兩個角度為大家進行簡單闡述。由于大多數(shù)傳感器在正常壓力范圍內(nèi)擁有出色的響應能力，但是在極低壓下(低于壓力檢測限)卻不響應了。

　　基于這個問題，很多研究者提出了相應的解決辦法。例如Dagdeviren等在傳感陣列單元中引入PZT設計了一種小巧輕薄并且可拉伸30%的壓電型傳感器，它可以和皮膚很好地貼合。由于場效應晶體管的放大效應，該傳感器擁有超低的檢測極限(可以感應到0.005Pa的壓力)。

　　除了擴展低壓區(qū)的檢測限，壓力傳感器也需要在高壓區(qū)具有良好的響應。前面已經(jīng)提到，很多研究工作通過引入活性層或電極上的微結構來提高器件的靈敏度，包括金字塔、尖錐狀、球狀微結構等，這些結構都屬于穩(wěn)定結構。

　　由于軟材料的不可壓縮性，以及這些結構受壓時發(fā)生硬化的現(xiàn)象，采用微結構的傳感器很容易在壓力較大時信號達到飽和，最近我們課題組制備了具有多級非穩(wěn)態(tài)自補償結構的離電型壓力傳感器有效地解決了上述問題。

　　該工作采用一種易于失穩(wěn)的結構，它在受壓失穩(wěn)后，將嵌入到微溝槽中，有效地提高結構的可壓縮性。在該策略指導下傳感器在極寬的壓力響應范圍內(nèi)(0.08 Pa—360 kPa)的靈敏度均超過了220kPa–1.在高壓區(qū)的靈敏度超過了之前結果達4個數(shù)量級。

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