MEMS壓力傳感器在各大應(yīng)用領(lǐng)域都被廣泛使用
MEMS壓力傳感器是最早開發(fā)的MEMS器件之一,現(xiàn)在與慣性傳感器(加速度計(jì)和陀螺儀)、麥克風(fēng)及RFMEMS傳感器共享這一領(lǐng)域。202年,MEMS壓力傳感器收入占全球市場(chǎng)總額近15%。
如今,MEMS壓力傳感器幾乎在每個(gè)行業(yè)都被廣泛的使用了,通常用于消費(fèi)類設(shè)備(智能手機(jī)和可穿戴設(shè)備)、工業(yè)系統(tǒng)(HVAC、過程控制和運(yùn)輸)、醫(yī)療設(shè)備(血壓監(jiān)測(cè)器和呼吸設(shè)備)、航空航天和國防(用于高度和數(shù)據(jù))以及汽車應(yīng)用等各大領(lǐng)域。
而汽車一直是主要的市場(chǎng),主動(dòng)和被動(dòng)安全系統(tǒng)都在使用傳感器,如胎壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、制動(dòng)助力器和側(cè)氣囊及HVAC和汽車座椅中,以提高乘客舒適度。
最近,其在混合動(dòng)力汽車和電動(dòng)汽車中發(fā)現(xiàn)了一種新的應(yīng)用,即電池監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(BMS)中監(jiān)測(cè)電池?zé)崾Э?,而大多?shù)還是用于車輛動(dòng)力傳動(dòng)系:用于BAP(不良行為預(yù)防)、MAP(絕對(duì)壓力)、顆粒過濾器、燃油箱蒸發(fā)、EGR和監(jiān)測(cè)自動(dòng)變速器油位。
另外隨著醫(yī)療市場(chǎng)的不段擴(kuò)展,MEMS壓力傳感器所有市場(chǎng)都有所增加。醫(yī)療設(shè)備同比增長(zhǎng)16%,這部分是因?yàn)楹粑O(shè)備和呼吸機(jī)的產(chǎn)量增加,幾乎每臺(tái)設(shè)備都會(huì)使用2到5個(gè)壓力傳感器。家庭醫(yī)療也在增加,以支持社交距離,導(dǎo)致日常檢查在家中進(jìn)行,如使用MEMS壓力傳感器的血壓監(jiān)測(cè)儀產(chǎn)品,這種護(hù)理點(diǎn)(PoC)方法是一種更廣泛的醫(yī)療行業(yè)趨勢(shì),從而使監(jiān)測(cè)更接近患者。
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